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压力传感器怎么制作,压力传感器在加工细节上应该注意些什么。
弹性体设计与制造:指弹性体钢杯的结构设计与机械加工,去应力热处理,此环节将确定弹性体膜片基本参数,基本决定了溅射薄膜式压力传感器的输入一输出关系,弹性体建模与计算过程非常重要,将在下一节重点阐述。
研磨与抛光:对合格的弹性体钢杯进行研磨,抛光,使表面达到光洁度要求,然后再作进一步的减薄处理。
镀膜:与刻压力继电器蚀交替进行,采用离子束溅射淀积技术,在金属弹性体表面制造粘附力强,膜层均匀,致密,性能稳定的多层薄膜。
刻蚀:采用半导体光刻和腐蚀的方法,或者研究采用离子束刻蚀工艺将电阻膜刻蚀成惠斯登电桥的电阻条图形,将引线膜刻蚀成引线电极。
电桥微调:采用薄膜电阻对惠斯登电桥的桥臂电阻进行补偿,将传感器的输出调整到设计范围内(即理想零点)。
压力传感器焊接:采用激光焊接或电子束焊接工艺,将合格芯片和支架,壳体等焊接到带有压力测试口的基座上,将压力敏感元件与压力接头焊装在一起是一道关键的工序,采用大功率激光焊机焊接或电子束焊机焊接,焊缝深度可达2.2mm,大量的焊接工艺试验表明,选用不同的焊接工艺参数,可以有效地消除焊接应力给传感器造成的不良影响。
压力量程的选用应主要考虑三个方面的因素:。
即传感器的最大过压能力,精度与压力量程的关系和传感器的价流量阀格与压力量程的关系。
对于传感器的最大过压能力,传感器承受静压力与动压力情况下是有很大区别的,后者往往会出现冲击压力,甚至冲击波,冲击压力远高于静压力。
对于精度与压力量程的关系,压力传感器的热零点漂移和热灵敏度漂移系数及非线性误差是影响传感器精度的重要指标,对同一压力传感器来说,热零点漂移系数随工作压力增加而减小,而热灵敏度系数和非线性误差随工作压力增加而增加。
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